板状(工作介质为板状)YAG激光器的输出功率现已达到3kW以上，转换效率达20%。由于半导体泵浦固体激光器有很多优点，因而有望取代YAG激光器，但半导体泵浦固体激光器中的激光二极管(LD)的价格昂贵。LD的市售价现为10美元/W。要实现1kW的YAG激光器需要2.1kW的LD，这样仅LD阵列一项就超过230万日元，价格比用灯泵浦方式高出一个数量级。据有关方面估计，半导体泵浦固体激光器的价格有望在2005年下调，届时可与灯泵浦的激光器一争高低。

 

1.YAG激光器的波长转换

在YAG激光器诸多的优点中，脉宽和波长可调是其突出的优点。其基本波长为1064nm，通过非线性光学元件可以获得二次谐波(532nm)、三次谐波(355nm)和四次谐波(266nm)。其中四次谐波的波长与KrF准分子激光器的波长相近，因此可用于类似的刻蚀加工。此外YAG高倍频激光器还具有其他特点，诸如不使用危险气体、安全性高、谐振腔容易维护等。另外由于是固体激光器，因此操作容易、输出稳定。

2、可直接用于加工的半导体激光器

目前的LD阵列已实现了高功率。通过将LD棒叠加在一起构成LD阵列，实现了＞1kW的输出功率。LD不仅可作泵浦光源，而且也可作为加工用的光源。但由于光束质量差，因而必须对聚光方法、与光纤的高效耦合方式加以改进。LD作为加工光源可以构成结构简单、高效率的激光加工系统。LD作为激光加工光源可用于焊接、表面淬火、激光熔覆及激光成型等。