前不久，美国克罗诺斯(Cronos)集成微系统公司MCNC MEMS技术应用中心开发的世界上最小的MEMS(微型机电系统)微型继电器已投放市场。这种继电器的尺寸仅为1.5mm(长)×1mm(宽)×600μm(高)。经过多项可靠性试验后表明，它完全适用于电信设备、自动测试设备、汽车和其它环境条件苛刻的设备中。现将该继电器的可靠性试验结果概述如下：

1.机械可靠性

有2个由MCNC设计和制作的继电器执行机构样品被客户用来在1Hz条件下循环操作1000万次。制定此试验方案的目的是为了揭示执行机构的机械可靠性问题和／或耐久性问题，执行机构的反复循环操作是通过全范围的移动(在本设计方案中为20μm)来完成的。循环前后实施的微型探针测试结果表明，经过1000万次循环之后，执行机构的位移或吸合力不变，机械特性和电特性也没有异常变化，试验到此圆满完成。

2.电气可靠性

MEMS微型继电器曾经由MCNC和一个客户实行过电测试。这些测试的目的是评定开关的电气可靠性，揭示闭合失灵或接触电阻和稳定性的变化。MCNS的测试条件是，把10V电源的10mA电流施加到开关触点上，以2～5Hz的速率反复闭合和断开触点。每次闭合之后都测量接触电阻。在MCNC的试验中，经过近380万次闭合之后接触电阻的异常现象都被记录下来。这些异常 现象表现为乱真高接触电阻值。但这些异常现象出现之后，继电器的性能又恢复正常。继电器在600万次闭合时仍保持正常功能，就在这时，测试圆满结束。经微型探针检验之后表明，继电器的任何部件都未发生异常变化。??在客户对MCNC继电器的评价中，对各种试样施加了类似的测试条件，在6V条件下对触点施加10、50和100mA电流级。在10和50mA级时，直到最少90万次循环为止仍未记录到异常现象。在100mA时，进行了6万次循环之后才发生触点失效。客户了解到，在其试验中以及MCNC试验中揭示的失效模式和异常现象与普通机电继电器的相似，主要是由于触点的磨损或沾污效应所造成的。有1个样品显示触点烧毁或融化的迹象。在双方的试验中都未观测到机械失效。

3.耐环境可靠性

美国海面作战中心曾对这种微型继电器实施环境试验，以测定在温度极值和机械冲击下的性能。样品的试验条件为－65～160?酰?20次循环，在每个极值时停机10分钟。功能度测试结果表明，经20次循环以后，样品性能不变。此外，在样品经受8～10微秒的60G冲击脉冲之后，其性能仍保持不变。